在南宁市第十五届人民代表大会第六次会议现场,科技创新成为代表们热议的话题,有的市人大代表还带来了最新生产或研发的产品,与大家一起分享。
“我的这个宝贝可来之不易!别看它只是小小的铝合金,但它充分体现了我们南南铝加工科技创新‘领头雁’的实力。”市人大代表、广西南南铝加工有限公司副总经理朱玉涛携带的一款八边形特种铝合金材料,引起了大家的关注。
这款材料是半导体设备用6N61SP铝合金,它是薄膜沉积设备、刻蚀机、离子注入机等半导体设备的关键基础原材料,具有强度高、机加工性能好、导电和导热性能好、抗腐蚀性能高、对化学反应兼容性好、不易产生金属污染和颗粒污染等特性。其趋肤深度更是不锈钢的10倍以上,使得电流分布均匀、腔体不容易发热,称得上是半导体设备最理想的材料。
以往半导体设备的铝合金材料基本由美国、法国铝厂垄断,国产半导体设备用特种铝合金难以解决高洁净、高均匀等问题,因此国内市场几乎完全依赖进口。而6N61SP铝合金具备与进口铝合金媲美的性能指标,部分性能指标甚至超过进口铝合金。
6N61SP铝合金背后隐藏着什么样的“科技密码”?朱玉涛坦言,之所以在半导体设备用特种铝合金领域实现突破,源于企业对于科技创新的高度重视,“6N61SP铝合金是自主研发、国内唯一应用在半导体领域的特种铝合金,用来制作传输腔、反应腔、匀气盘、内衬件等半导体设备核心零部件。为生产这一产品,我们的研发团队从零开始,经过了数百次攻关、数十次工程验证和产品优化,最终攻克了半导体级铝合金板材和特种铝合金生产装备的‘卡脖子’难题。”
向“新”凝聚,凸显实力。朱玉涛自信地说:“面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家重大需求,广西南南铝加工有限公司围绕创新链部署产业链,围绕产业链布局创新链,在科技创新上攻坚克难,解决了铝合金领域一系列‘卡脖子’问题。如今,我们可以自豪地说,我们的材料,我们行!”
本报记者余秋兰
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