5月17日消息，国家知识产权局信息显示，北京京仪自动化装备技术股份有限公司申请一项名为“用于真空泵吹扫的气体检测装置及气体检测方法”的专利。申请公布号为CN122041960A，申请号为CN202610002245.0，申请公布日期为2026年5月15日，申请日期为2026年1月4日，发明人刘飞腾、丁金龙、杨子臣、陈富强，专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司，专利代理师张成霞，分类号G01D21/02。

专利摘要显示，本发明涉及真空泵技术领域，提供一种用于真空泵吹扫的气体检测装置及气体检测方法。上述的用于真空泵吹扫的气体检测装置，包括：主管路、多个第一分支管路和检测组件，主管路用于通入吹扫气体；多个第一分支管路与主管路连通，多个第一分支管路用于与真空泵的不同部位连接；检测组件设置于多个第一分支管路，或，检测组件的部分设置于主管路，检测组件的剩余部分设置于多个第一分支管路，检测组件用于检测吹扫气体的流量以及压力。上述的用于真空泵吹扫的气体检测装置，各个第一分支管路与真空泵的各吹扫部位连接，易于集成于真空泵的吹扫系统，提高了气体检测装置与吹扫系统的适配性，实现了吹扫气体参数检测与各吹扫位置气流的精准匹配。

京仪装备成立于2016年6月30日，于2023年11月29日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均为北京市。公司是国内半导体专用设备领域的重要企业，主营半导体专用温控、废气处理及晶圆传片设备，技术实力突出。

京仪装备所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，概念板块涵盖半导体设备、半导体设备概念、中芯国际概念。公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，主营产品有半导体专用温控设备（Chiller）、半导体专用工艺废气处理设备（Local Scrubber）和晶圆传片设备（Sorter）。

2025年，京仪装备实现营业收入14.26亿元，在25家同行业公司中排名第13，远低于第一名北方华创的393.53亿元和第二名中微公司的123.85亿元，行业平均数为41.44亿元，中位数为14.26亿元。主营业务中，半导体专用温控设备收入9.37亿元，占比65.70%。净利润方面，2025年为1.48亿元，行业排名14/25，远低于第一名北方华创的54.09亿元和第二名中微公司的20.64亿元，行业平均数为6.09亿元，中位数为1.77亿元。

北京京仪自动化装备技术股份有限公司近期专利情况如下：

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