美迪凯申请介质膜制作法相关专利,实现双介质膜柱状图形加工,降本且零损伤
创始人
2026-05-08 09:33:05

5月8日消息,国家知识产权局信息显示,杭州美迪凯光电科技股份有限公司申请一项名为“一种介质膜柱状图形的制作方法”的专利。申请公布号为CN121985742A,申请号为CN202610149495.7,申请公布日期为2026年5月5日,申请日期为2026年2月3日,发明人宁珈祺、陈银培,专利代理机构杭州求是专利事务所有限公司,专利代理师邱启旺,分类号H10P14/60、H10P52/40。

专利摘要显示,本发明公开了一种介质膜柱状图形的制作方法,涉及半导体制造工艺技术领域。本发明采用光敏胶作为牺牲层来制作第一种介质膜的柱状图形,同时结合原子层沉积的高填充能力和化学机械抛光的全局平坦化特性,实现了两种介质膜高精度的交替错落的柱状图形的加工,在有限的设备能力下使用简单的工艺将高要求的产品做出,节省了投入成本,在保证柱状图形关键尺寸和侧壁陡直度的同时,实现了对基板叠层的零损伤。

美迪凯成立于2010年8月25日,于2021年3月2日在上海证券交易所上市,注册地址位于浙江省杭州,办公地址位于浙江省嘉兴。该公司是国内领先的光学光电子企业,专注于光学光电子、半导体相关产品研发制造,拥有较强技术壁垒。

美迪凯主营业务为光学光电子、半导体光学、半导体微纳电路、半导体封装、智能终端的研发、制造和销售,所属申万行业为电子 - 光学光电子 - 光学元件,涉及增强现实(AR)、激光雷达、全息概念等概念板块。

2025年,美迪凯营业收入6.64亿元,在行业26家公司中排名第19,远低于行业第一名欧菲光的221.5亿元和第二名联创电子的82.59亿元,行业平均数为23.49亿元,中位数为9.53亿元。其主营业务中,半导体声光学占比28.17%,半导体封测占比24.31%等。净利润方面,2025年为 - 1.61亿元,行业排名25/26,与第一名水晶光电的11.7亿元和第二名蓝特光学的3.91亿元差距明显,行业平均数为7686.34万元,中位数为5931.32万元。

杭州美迪凯光电科技股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种介质膜柱状图形的制作方法发明专利公布CN202610149495.72026-02-03CN121985742A2026-05-05宁珈祺、陈银培
2一种晶圆级PVDF类薄膜的极化工艺发明专利公布CN202511978606.72025-12-25CN121843417A2026-04-10金贝贝、葛文志、顾远龙、邵铭、丁宇能
3一种基板表面镀膜膜系结构发明专利公布CN202511859554.12025-12-10CN121674897A2026-03-17翁钦盛、王刚、丁宇能、周洋、宋晓龙、周小岐
4一种提升胶合棱镜成像质量的加工方法及胶合棱镜发明专利公布CN202511326458.02025-09-17CN120972340A2025-11-18葛文志、李涛、韩巍巍、韩威风
5一种改善胶合棱镜成像质量的加工方法及胶合棱镜发明专利实质审查的生效、公布CN202511239959.52025-09-02CN121165281A2025-12-19葛文志、李涛、韩巍巍
6一种全3D打印集成的多尺寸晶圆叠层制造方法及结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511200335.22025-08-26CN121267194A2026-01-06金贝贝、葛文志、顾远龙、邵铭、丁宇能
7一种通孔基板表面涂胶工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202511092337.42025-08-05CN120815694A2025-10-21宁珈祺、陈银培
8一种高深宽比介质膜深槽填充工艺发明专利公布CN202511092340.62025-08-05CN121035050A2025-11-28宁珈祺、陈银培
9一种高深宽比介质膜柱状图形加工工艺发明专利公布CN202511092339.32025-08-05CN121034947A2025-11-28宁珈祺、陈银培
10一种适用于旋涂工艺的聚偏氟乙烯配胶体系及其用于压电性能提升的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510820497.X2025-06-19CN120464110A2025-08-12金贝贝、葛文志、顾远龙、邵铭、丁宇能
11一种台阶结构表面图形化加工工艺发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510096316.32025-01-22CN119542127B2025-05-13丁宇能、葛文志
12一种降低金属阻抗及优化均匀性的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510087425.92025-01-20CN119980136A2025-05-13邵铭、顾远龙、周洋、葛文志
13一种超薄晶圆BGBM减薄背金加工方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411668409.02024-11-21CN119601502A2025-03-11朱双信、钮付干
14一种改善胶合棱镜成像质量的加工方法及键合棱镜发明专利实质审查的生效、公布CN202411510498.62024-10-28CN119270400A2025-01-07葛文志、韩巍巍、李涛、吴岳
15一种光驰蒸发镀膜产品夹具实用新型授权CN202422212006.72024-09-10CN223003009U2025-06-20丁宇能
16一种薄玻璃片无印记涂胶用夹具实用新型授权CN202421560405.62024-07-03CN223097245U2025-07-15宁珈祺、陈登基、王天荣
17一种晶圆pad层铝膜及其镀膜加工工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202410856664.12024-06-28CN119542300A2025-02-28姜美荣
18一种镀AL层的晶圆PAD层结构实用新型授权CN202421519898.92024-06-28CN222809526U2025-04-29姜美荣
19一种基于干膜图形化的剥离工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202410785331.42024-06-18CN118588537A2024-09-03宁珈祺、陈银培、陶保金
20一种适用于射频基板绝缘层的介质膜图形化工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202410785328.22024-06-18CN118588536A2024-09-03陈银培、宁珈祺、杨巨椽
21氮气解胶机使用治具实用新型授权CN202421268670.72024-06-05CN222507558U2025-02-18刘卫坤
22一种特制移载吸嘴使用夹具实用新型授权、公布CN202421248953.52024-06-03CN222410113U2025-01-28刘卫坤
23一种特制移载使用治具实用新型授权CN202421248954.X2024-06-03CN222507588U2025-02-18刘卫坤
24一种异方性导电膜镀膜结构及其制备方法发明专利授权、公布CN202410451173.92024-04-16CN118064833B2024-08-06龚博渊、翁钦盛
25一种极薄基板的抛光加工工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202410124020.32024-01-30CN117798752A2024-04-02韩威风、韩巍巍、刘引、刘双龙、钮云飞、姚拽
26一种超薄石英晶片刻蚀工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202410124021.82024-01-30CN118042910A2024-05-14程黎、龚博渊、刘引、葛文志
27一种特定区域不镀膜定位辅助夹具实用新型授权CN202420216390.52024-01-30CN222570456U2025-03-07王刚、张亚星、吴善锋、江骏楠
28一种兼顾低透低反和低透高反的膜层结构及其制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410120947.X2024-01-29CN118068459A2024-05-24王刚、张亚星
29一种减少无效镀膜区域的介质膜的制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202410120948.42024-01-29CN118377070A2024-07-23邵铭、王成、周洋
30一种方形镂空光学玻璃贴合加工工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202311598009.22023-11-28CN117445532A2024-01-26钮云飞、刘引、龚博渊、苏炜
31一种标记镀膜光谱不良区域的辅助夹具实用新型授权CN202323171300.X2023-11-23CN221186230U2024-06-21王刚、张亚星、吴善锋、江骏楠
32一种改善膜层拖尾的镀膜机蒸发源和电子枪结构实用新型授权CN202323080303.22023-11-15CN221275864U2024-07-05王刚、邵铭、张亚星
33一种LT与LN来料裸片涂布工艺发明专利授权CN202311444836.62023-11-02CN117619689B2026-02-06杨巨椽、王天荣、陈银培
34一种光谱仪检测用治具实用新型授权CN202320723754.42023-04-04CN219675821U2023-09-12余开封、李伟东
35应用在偏振阵列式波导片的分光膜镀膜片及其镀膜工艺发明专利授权CN202211602658.02022-12-14CN115685406B2025-11-11翁钦盛、龚博渊
36一种快速清除RGB光路层的工艺发明专利实质审查的生效、公布CN202211505955.32022-11-29CN115642167A2023-01-24邵铭、丁宇能、朱毅
37一种QFN基板检测治具实用新型授权CN202223019205.32022-11-14CN218674707U2023-03-21朱双信、聂童、唐家云、冯增新
38一种光谱仪衰减器安置夹具实用新型授权CN202222839968.62022-10-27CN218180256U2022-12-30付林东、朱达
39一种莱宝机晶圆镀膜夹具实用新型授权CN202222813050.42022-10-25CN218385174U2023-01-24万维岩、龚博渊
40十二寸硅片镀膜用十三孔晶圆伞架实用新型授权CN202222733187.92022-10-18CN218351427U2023-01-20邵铭、顾远龙、周洋、杨鑫
41一种QFN基板剥离治具实用新型授权CN202222704210.12022-10-14CN218398458U2023-01-31朱双信、聂童、苏洲洋
42一种丝印烘干治具实用新型授权CN202222601916.52022-09-30CN218388125U2023-01-24雷紫昂、朱双信、苏洲洋
43一种全自动多向单控超声波清洗机实用新型授权CN202222467582.72022-09-19CN218191370U2023-01-03葛文琴、魏辉余、韩巍巍、王丙森、江骏楠、苏洲洋
44一种方形切割平台实用新型授权CN202221292632.62022-05-27CN217435254U2022-09-16苏炜、李飞
45镀膜机内减缓气体对密闭环境产生扬尘的装置实用新型专利申请权、专利权的转移、授权CN202220883850.02022-04-18CN217026065U2022-07-22姜美荣、葛文琴
46一种晶圆光学薄膜图形化加工高效去胶的工艺方法发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202210077283.42022-01-24CN114415483A2022-04-29刘耀菊、陈银培、田双江、邓宇、杨巨椽
47一种颜色膜膜系设计镀膜工艺发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202111466959.02021-12-03CN114107898A2022-03-01翁钦盛、王刚、叶炜昊
48一种晶圆表面吸收式IR镀膜工艺发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202111053917.42021-09-09CN113737131B2023-12-01李涛、尚海、刘耀菊、王刚
49一种长条形光学玻璃多面图形化光学镀膜加工工艺发明专利发明专利申请公布后的驳回、实质审查的生效、公布CN202110958176.82021-08-20CN113651544A2021-11-16吴岳、韩威风、李涛
50一种光学镀膜半导体晶圆嫁接方法及光学镀膜半导体发明专利授权、公布CN202110842610.62021-07-26CN113594022B2025-05-16葛文志、翁钦盛、王刚、陈银培、丁宇能、周洋、陈博

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