中科飞测取得检测方法相关专利,对待检图像分步匹配比对,实现缺陷检测
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2025-12-30 21:17:07

12月30日消息,国家知识产权局信息显示,深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“检测方法及装置、检测设备和存储介质”的专利,授权公告号CN115375610B,授权公告日为2025年12月30日。申请公布号为CN115375610A,申请号为CN202110558116.7,申请公布日期为2025年12月30日,申请日期为2021年5月21日,发明人陈鲁、肖遥、佟异、张鹏斌、张嵩,专利代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙),专利代理师邵泳城,分类号G06T7/00、G06T7/11、G06V10/75。

专利摘要显示,本申请提供一种检测方法、检测装置、检测设备和非易失性计算机可读存储介质。检测方法包括获取预设模板中与待检图像对应的第一区域图像;识别所述待检图像的线路区域,以生成第二区域图像;获取所述第一区域图像中与所述第二区域图像对应的第三区域图像;对比所述第二区域图像和所述第三区域图像,以检测所述待检图像的缺陷。检测方法、检测装置、检测设备和非易失性计算机可读存储介质通过对待检图像整体匹配后、再对待检图像中的每个待测部分精准匹配,可提升待检图像和预设模板的匹配效果,然后对每个待测部分和对应的第三区域图像进行比对,从而确定每个待测部分的缺陷,完成待检图像的缺陷检测,检测效果较好。

中科飞测成立于2014年12月31日,于2023年5月19日在上海证券交易所上市,注册地址和办公地址均位于广东省深圳市。该公司是国内领先的集成电路检测设备商,核心产品为检测和量测设备,具备技术与产品应用领域的差异化优势。

中科飞测主要从事检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售,所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备,概念板块涵盖半导体设备、先进封装、中芯国际概念。

2025年三季度,中科飞测实现营业收入12.02亿元,在23家同行业公司中排名第11,与第一名北方华创的273.01亿元、第二名中微公司的80.63亿元差距较大,低于行业平均数30.84亿元,略高于行业中位数11.03亿元。净利润方面,当期亏损1469.85万元,行业排名21/23,第一名北方华创达49.8亿元,第二名盛美上海为12.66亿元,行业平均数为5.04亿元,中位数为1.29亿元。

深圳中科飞测科技股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1一种晶圆边缘缺陷检测光学系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511599209.92025-11-04CN121049293A2025-12-02陈鲁、张鹏斌、梁文军、盛浩、杨楠、刘健鹏
2一种光学测量方法以及光学成像系统发明专利公布CN202511590953.22025-10-31CN121207037A2025-12-26姚本溪、吕肃、陈鲁
3一种灯丝观测方法、装置及电子设备发明专利公布CN202511476742.62025-10-15CN121141713A2025-12-16吕肃、朱中道、陈鲁
4一种图像精准对位的方法、装置、设备及可读存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511445925.12025-10-11CN120912653A2025-11-07张鹏斌、王宗钊、李艳波、齐鑫、邵珠勇、胡诗铭、陈鲁
5一种晶圆面型测量设备及测量方法发明专利公布CN202511448141.42025-10-10CN121185218A2025-12-23陈鲁、马砚忠、袁明波、郁健
6一种扫描电子显微镜系统及消磁调试方法发明专利公布CN202511385039.42025-09-25CN121171860A2025-12-19吕肃、岳鹿野、陈鲁
7一种扫描电子显微镜发明专利公布CN202511383765.22025-09-25CN121171859A2025-12-19岳鹿野、吕肃、陈鲁
8集光系统及有图形待检测对象的光学缺陷检测系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511378347.42025-09-23CN121026972A2025-11-28陈鲁、黄有为、张龙
9集光系统及有图形待检测对象的缺陷检测系统发明专利公布CN202511374444.62025-09-23CN121113875A2025-12-12陈鲁、黄有为、张龙、陶陶
10一种待测目标角度调整方法、装置、设备及介质发明专利公布CN202511357755.12025-09-22CN121149077A2025-12-16白园园、李鹰、班帅、马砚忠、陈鲁
11一种待测目标角度调整方法、装置、设备和介质发明专利公布CN202511357444.52025-09-22CN121149076A2025-12-16李炎、李鹰、班帅、杨喜朋、马砚忠、陈鲁
12一种待测目标角度调整方法、装置、设备及介质发明专利公布CN202511358425.42025-09-22CN121149078A2025-12-16白园园、李鹰、班帅、陈翔、马砚忠、陈鲁
13一种检测系统及检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511317785.X2025-09-15CN120820548A2025-10-21陈鲁、黄有为、张龙、赵康俊、朱燕明
14一种缺陷检测系统及缺陷检测方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511316854.52025-09-15CN120847114A2025-10-28陈鲁、黄有为、张龙、朱燕明、王建龙
15一种缺陷检测系统及缺陷检测方法发明专利授权、实质审查的生效CN202511311210.72025-09-15CN120801333B2025-12-09陈鲁、黄有为、张龙、赵康俊、刘英见
16一种静电卡盘发明专利授权CN202511312089.X2025-09-15CN120809658B2025-12-26吕肃、蒋路翔、桂梦茜、陈鲁
17晶圆测量方法以及夹持装置发明专利公布CN202511281569.42025-09-09CN121171912A2025-12-19郁健、孙俊阳、尉佩、马砚忠、陈鲁
18一种晶圆缺陷检索方法及装置、存储介质发明专利公布CN202511242842.22025-08-29CN121144550A2025-12-16蒲智辉、肖安七、张嵩、陈鲁
19一种双向离轴对位偏差量测方法、系统及离轴标记发明专利授权CN202511212699.22025-08-28CN120777998B2025-12-09吕肃、姚本溪、陈鲁
20一种自动绘制感兴趣区域的方法及相关产品发明专利授权CN202511212703.52025-08-28CN120726075B2025-12-09张鹏斌、王宗钊、邵珠勇、胡诗铭、陈鲁
21一种自动配置检测阈值参数的方法及相关产品发明专利实质审查的生效、公布CN202511227744.12025-08-28CN121095195A2025-12-09胡诗铭、王宗钊、邵珠勇、张鹏斌、陈鲁
22一种卡盘发明专利授权CN202511207355.22025-08-27CN120722677B2025-11-21吕肃、蒋路翔、邓元学、陈鲁
23一种卡盘发明专利授权CN202511207356.72025-08-27CN120722678B2025-12-09陈鲁、蒋路翔、邓元学、吕肃
24一种聚焦方法及聚焦系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511118032.62025-08-08CN120629005A2025-09-12吕肃、欧阳鑫川、陈鲁
25扫描系统以及电子束控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511101256.62025-08-07CN120656915A2025-09-16吕肃、汪海锋、陈鲁
26一种模型训练方法及程序产品发明专利实质审查的生效、公布CN202511054733.82025-07-30CN120600190A2025-09-05陈鲁、马砚忠、马翔宇、温朗枫
27转台系统及其控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511057759.82025-07-28CN120839724A2025-10-28张鹏斌、胡诗铭、李文博、何明扬、陈鲁
28测量设备和其中设备噪声的频率估计方法、去噪方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510999814.92025-07-18CN120927121A2025-11-11马砚忠、崔舒涵、白园园、陈鲁
29一种用于两组晶圆缺陷点坐标的匹配方法及相关产品发明专利授权、公布CN202510985945.12025-07-17CN120561614B2025-10-31张龙、李贵杰、赵康俊、陈鲁
30测量系统及测量方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510981367.42025-07-15CN120868891A2025-10-31陈鲁、尉佩、马砚忠
31双检测通道下晶圆缺陷数据对齐方法、设备及存储介质发明专利授权、公布CN202510954018.32025-07-11CN120451165B2025-10-31张龙、何金彬、陈鲁
32晶圆扫描方法、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510941748.X2025-07-08CN120824209A2025-10-21张龙、刘琦然、罗云楼、陈鲁
33集成电路器件的结构量测方法、装置、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510930704.72025-07-07CN120467239A2025-08-12马砚忠、王才、温朗枫、黄维、陈鲁
34一种匀光装置、照明设备和光学检测系统发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510922398.22025-07-04CN120428442B2025-09-16陈鲁、周璐阳、胡诗铭、张鹏斌
35一种匀光装置、照明设备和光学检测系统发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510922398.22025-07-04CN120428442B2025-09-16陈鲁、周璐阳、胡诗铭、张鹏斌
36一种受激辐射的晶圆检测装置发明专利公布CN202510921026.82025-07-04CN120784179A2025-10-14陈鲁、张鹏斌、刘杨杨、刘健鹏、刘玉东
37一种光声量测过程中光斑识别方法及光声量测系统发明专利公布CN202510905026.92025-07-01CN120766025A2025-10-10马砚忠、崔舒涵、白园园、陈鲁
38一种光声检测系统及激光光斑校准方法发明专利授权、公布CN202510898570.52025-07-01CN120403462B2025-11-04马砚忠、崔舒涵、陈鲁
39一种光声检测系统及激光光斑校准方法发明专利公布CN202511397691.82025-07-01CN121163388A2025-12-19马砚忠、崔舒涵、陈鲁
40一种角度测量方法及半导体测量装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510886303.62025-06-30CN120747192A2025-10-03刘健鹏、王翠娟、张鹏斌、陈鲁
41基于深度学习的缺陷检测系统、物镜像差补偿方法和缺陷检测方法发明专利授权、公布CN202510886137.X2025-06-30CN120451136B2025-10-31张鹏斌、徐安妮、周璐阳、郭凇铭、胡诗铭、陈鲁
42电子探测装置、方法及电子显微镜发明专利授权CN202510883937.62025-06-30CN120388877B2025-11-21吕肃、陈子林、陈鲁
43控制参数整定方法、检测系统及其控制方法、存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510889957.42025-06-27CN120630706A2025-09-12刘健鹏、仇志远、张鹏斌、陈鲁
44一种形貌参数的确定方法、装置、设备和介质发明专利公布CN202510886122.32025-06-27CN120784177A2025-10-14马砚忠、杨天娟、白园园、陈鲁
45一种承载装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510883918.32025-06-27CN120854367A2025-10-28洪艮超、陈贵龙、黄剑、张鹏斌、陈鲁
46一种承载装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510875100.72025-06-27CN120854366A2025-10-28洪艮超、陈贵龙、张鹏斌、陈鲁
47一种承载装置发明专利授权、公布CN202510874310.42025-06-27CN120388931B2025-10-31张鹏斌、陈贵龙、洪艮超、刘玉东、陈鲁
48光强检测系统、光强检测方法和存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510873800.22025-06-26CN120521725A2025-08-22胡诗铭、黄怀冬、刘根飞、张学彬、张鹏斌、陈鲁
49多波长干涉仪系统及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510877721.92025-06-26CN120846185A2025-10-28陈鲁、尉佩、马砚忠、袁明波、郁健
50待测样品的量测系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510828866.X2025-06-19CN120490171A2025-08-15白园园、马砚忠、陈鲁

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