来源：环球网

9月1日下午，“芯链协同 共创未来”滨湖区集成电路产业对接会在无锡举行。对接会上，惠然微电子技术（无锡）有限公司与华润微电子有限公司签署战略合作框架协议，双方围绕半导体设备国产化，联合推动量检测设备的自主研发与产业化应用，并建立技术交流机制和人才培养机制，协同产业链上下游资源整合。

惠然微电子发布三款自主研发产品

中国科学院微电子研究所光电技术中心副主任吴晓斌、浙江省半导体行业协会秘书长丁勇，集成电路产业链企业代表、高校科研院所代表、投资机构代表，滨湖区相关负责人出席活动。

惠然微电子技术（无锡）有限公司与华润微电子有限公司签署战略合作框架协议

深耕自研，“芯”品迭出。一批由惠然微电子自主研发并达到国内领先水平对接会现场，惠然微电子发布三款自主研发产品。14/22nm CD-SEM关键尺寸量测设备向下兼容22nm量产、向上支撑14nm工艺研发，可应用于研发与量产两类场景；Mask CD-SEM掩模版量测装备面向22nm及以上节点光刻掩模版关键尺寸计量需求；AI-电子束量测技术平台RMS作为CD-SEM智能体产线解决方案，覆盖硬件与算法数据处理环节。

华润微电子董事长何小龙在交流中表示，高端量检测正从实验室进入量产线，需要国内客户的参与，保障晶圆制造的供应链体系安全。惠然微电子董事长王志刚以《埃米时代的量测革命：CD-SEM技术演进、产业趋势与国产电子束装备突围》为题，介绍国产电子束装备的技术路径与产业进展。产业交流环节，长电科技、华虹半导体等企业，鲸芯资本、锡高投等投资机构，中科院微电子所光电中心等科研院所参与讨论。

滨湖区集成电路产业已有30余年发展历史，形成了企业集中、配套完善的产业体系。区域内汇聚江南大学、东南大学、中电科五十八所等高校院所，落地国家集成电路设计中心、清华无锡智能产业创新中心等科创平台，建设申威信创、锡芯谷等产业园区，集聚中科芯、卓胜微、惠然微电子、利普思等企业。据了解，2026年上半年，滨湖区集成电路产业实现营收超70亿元。（心月））