截至2026年3月4日 11:30，中证半导体材料设备主题指数(931743)下跌0.82%。成分股方面涨跌互现，有研硅领涨7.33%，神工股份上涨2.04%，上海新阳（维权）上涨1.26%；珂玛科技领跌3.86%，芯源微下跌3.59%，京仪装备下跌3.18%。半导体设备ETF易方达(159558)最新报价2.06元。拉长时间看，截至2026年3月3日，半导体设备ETF易方达近3月累计上涨25.71%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

流动性方面，半导体设备ETF易方达盘中换手4%，成交2.04亿元。拉长时间看，截至3月3日，半导体设备ETF易方达近1周日均成交3.25亿元，排名可比基金前2。

规模方面，半导体设备ETF易方达近1月规模增长4.15亿元，实现显著增长，新增规模位居可比基金1/5。（数据来源：Wind）

份额方面，半导体设备ETF易方达最新份额达24.51亿份，创近1年新高，位居可比基金2/5。（数据来源：Wind）

从资金净流入方面来看，半导体设备ETF易方达近3天获得连续资金净流入，最高单日获得1.09亿元净流入，合计“吸金”2.28亿元，日均净流入达7606.40万元。（数据来源：Wind）

数据显示，杠杆资金持续布局中。半导体设备ETF易方达前一交易日融资净买额达175.68万元，最新融资余额达5072.21万元。（数据来源：Wind）

截至3月3日，半导体设备ETF易方达近1年净值上涨66.01%，排名可比基金前2，指数股票型基金排名159/3543，居于前4.49%。从收益能力看，截至2026年3月3日，半导体设备ETF易方达自成立以来，最高单月回报为25.48%，最长连涨月数为4个月，最长连涨涨幅为57.31%，涨跌月数比为13/7，上涨月份平均收益率为10.56%，年盈利百分比为100.00%，历史持有1年盈利概率为100.00%。截至2026年3月3日，半导体设备ETF易方达近1年超越基准年化收益为0.67%，排名可比基金前2/5。

截至2026年2月27日，半导体设备ETF易方达近1年夏普比率为1.74。

回撤方面，截至2026年3月3日，半导体设备ETF易方达今年以来相对基准回撤0.23%。

费率方面，半导体设备ETF易方达管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。

跟踪精度方面，截至2026年3月3日，半导体设备ETF易方达近1月跟踪误差为0.013%，在可比基金中跟踪精度较高。

半导体设备ETF易方达紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年2月27日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为中微公司、北方华创、长川科技（维权）、拓荆科技、华海清科、沪硅产业、中科飞测、南大光电、芯源微、江丰电子，前十大权重股合计占比63.83%。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）

半导体设备ETF易方达(159558)，场外联接(易方达中证半导体材料设备主题ETF联接发起式A：021893；易方达中证半导体材料设备主题ETF联接发起式C：021894)。