截至2026年2月10日 13:29，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.66%，成分股华峰测控上涨10.38%，兴福电子上涨6.37%，欧莱新材上涨5.26%，京仪装备上涨3.33%，艾森股份上涨2.69%。科创半导体ETF（588170）上涨0.73%，最新价报1.79元。

截至2026年2月10日 13:31，中证半导体材料设备主题指数上涨0.15%，成分股华峰测控上涨9.65%，京仪装备上涨3.30%，艾森股份上涨2.41%，芯源微上涨2.18%，南大光电上涨1.78%。半导体设备ETF华夏（562590）上涨0.16%，最新价报1.92元。

流动性方面，科创半导体ETF盘中换手6.71%，成交5.42亿元；半导体设备ETF华夏盘中换手2.78%，成交7655.52万元。

规模方面，科创半导体ETF近3月规模增长42.96亿元，实现显著增长，新增规模位居可比基金1/3；半导体设备ETF华夏最新规模达27.59亿元。

资金流入方面，科创半导体ETF最新资金净流出6371.43万元。拉长时间看，近10个交易日内，合计“吸金”1.82亿元；半导体设备ETF华夏最新资金净流入382.94万元。拉长时间看，近21个交易日内有15日资金净流入，合计“吸金”12.69亿元，日均净流入达6042.88万元。

消息面上，2月5日，广州市白云区人民政府与韩国知名半导体设备企业STI株式会社在广州市政府正式签署投资协议。根据协议，STI株式会社将在白云区投资建设功率半导体智造基地。据了解，项目选址广州民营科技园，总投资额约124亿元。项目一期投资约16亿元，主要生产AMB陶瓷基板。项目计划春节后正式动工，预计年底建成投产，达产后预计年产值约30亿元。

东海证券认为，随着AI数据中心、新能源车、储能和工业控制等下游领域的快速发展，功率半导体市场需求持续攀升，其中AI服务器的爆发式增长尤为显著，已成为重要的需求增量来源。

相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备（60%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。 半导体设备和材料行业是重要的国产化替代领域，具备国产化率较低、国产化替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求，扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体设备ETF华夏（562590）及其联接基金（A类：020356；C类：020357），指数中半导体设备（63%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。