截至2025年3月11日 09:55，中证半导体材料设备主题指数(931743)上涨0.32%，成分股芯源微(688037)上涨13.04%，沪硅产业(688126)上涨4.79%，江化微(603078)上涨2.46%，金宏气体(688106)上涨0.81%，耐科装备(688419)上涨0.79%。半导体材料ETF(562590)下跌0.17%，最新报价1.17元，盘中成交额已达496.94万元，换手率1.51%。

拉长时间看，截至2025年3月10日，半导体材料ETF近1周累计上涨3.36%，涨幅排名可比基金2/5。

规模方面，半导体材料ETF近1年规模增长2.68亿元，实现显著增长，新增规模位居可比基金2/5。

份额方面，半导体材料ETF近1年份额增长2.16亿份，实现显著增长，新增份额位居可比基金2/5。

绝对收益方面，截至2025年3月10日，半导体材料ETF自成立以来，最高单月回报为20.35%，最长连涨月数为3个月，最长连涨涨幅为43.67%，上涨月份平均收益率为10.90%，年盈利百分比为100.00%，历史持有1年盈利概率为96.08%。

超额收益方面，截至2025年3月10日，半导体材料ETF近3个月超越基准年化收益为0.80%，排名可比基金前2/5。

截至2025年3月7日，半导体材料ETF近1年夏普比率为1.12。

回撤方面，截至2025年3月10日，半导体材料ETF今年以来最大回撤4.92%，相对基准回撤0.18%，在可比基金中回撤风险较低。

费率方面，半导体材料ETF管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。

半导体材料ETF紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2025年2月28日，中证半导体材料设备主题指数(931743)前十大权重股分别为北方华创(002371)、中微公司(688012)、沪硅产业(688126)、拓荆科技(688072)、华海清科(688120)、南大光电(300346)、长川科技(300604)、中科飞测(688361)、鼎龙股份(300054)、雅克科技(002409)，前十大权重股合计占比62.4%。

半导体材料ETF(562590)，场外联接(华夏中证半导体材料设备主题ETF发起式联接A：020356；华夏中证半导体材料设备主题ETF发起式联接C：020357)。