8月29日消息，国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“气体引导装置及半导体设备”的专利。申请公布号为CN122648907A，申请号为CN202610890054.2，申请公布日期为2026年8月28日，申请日期为2026年6月18日，发明人郑子文、吴围、李荣生、陆亦诚、赵光辉，专利代理机构北京维飞联创知识产权代理有限公司，专利代理师逯恒，分类号C23C16/455。

专利摘要显示，本申请提供了一种气体引导装置及半导体设备，涉及半导体技术领域。该气体引导装置包括第一管道、离子发生器和引导件。第一管道具有进气端和出气端。离子发生器设置于第一管道的外侧壁，且靠近进气端，用于使由进气端通入第一管道内气体中的聚合物带电。引导件设置于第一管道的内侧壁，且靠近出气端，用于引导带电的聚合物向出气端运动。该气体引导装置能够有效避免含碳聚合物堆积于管道内壁。

微导纳米是国内原子层沉积（ALD）设备领域领军企业，核心从事先进薄膜沉积装备研发制造，具备深厚技术壁垒与全链条产业化能力。公司2015年12月25日在江苏无锡注册成立，2022年12月23日登陆上海证券交易所，办公地点同样位于江苏无锡。

公司核心业务围绕ALD技术布局，专注于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案。从分类来看，公司所属申万行业为电力设备-光伏设备-光伏加工设备，同时覆盖年度强势、先进封装、存储概念等热门概念板块。

2026年上半年，微导纳米实现营业收入11.89亿元，在行业12家可比企业中排名第8，同期行业头部企业晶盛机电、迈为股份营收分别达34.52亿元、29.09亿元，行业平均营收为18.39亿元，行业中位数为18.85亿元。营收结构方面，半导体设备贡献6.29亿元，占比53.11%；光伏设备贡献3.82亿元，占比32.27%；配套产品及服务贡献1.45亿元，占比12.27%；其他业务收入2778.76万元，占比2.35%。盈利端，公司同期实现净利润1.02亿元，行业排名第7，行业12家企业中净利润榜首捷佳伟创、次席拉普拉斯分别录得3.75亿元、3.18亿元，行业平均净利润为1.15亿元，行业中位数为1.43亿元。

江苏微导纳米科技股份有限公司近期专利情况如下：

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