8月29日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统”的专利。申请公布号为CN122653057A，申请号为CN202610759055.3，申请公布日期为2026年8月28日，申请日期为2022年11月9日，发明人万明军，分类号G05B19/042。

专利摘要显示，本发明公开了一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统，包括安全门开关、控制模块、安全继电器和伺服驱动器，安全门开关与控制模块连接，控制模块与安全继电器连接，安全继电器与伺服驱动器连接，安全门开关输出双路开关信号和锁闭信号至控制模块，控制模块输出锁定解锁命令至安全门开关，控制模块根据所述双路开关信号和锁闭信号输出STO信号至安全继电器，安全继电器输出动作信号至伺服驱动器，伺服驱动器基于其工作状态输出STO反馈信号至控制模块。

华海清科是国内CMP设备龙头企业，主营半导体核心设备，具备全产业链技术壁垒。公司成立于2013年4月10日，于2022年6月8日登陆上海证券交易所，注册及办公所在地均为天津市。

华海清科主营业务为从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，申万行业分类隶属于电子-半导体-半导体设备板块，同时覆盖HBM概念、半导体设备、中芯国际概念等热门概念赛道。

2026年上半年，华海清科实现营业收入26.43亿元，在22家同行业可比公司中排名第6，高于行业平均23.67亿元、大幅领先行业中位数9.41亿元，仅低于行业头部企业北方华创的201.61亿元与中微公司的66.91亿元；同期实现净利润5.63亿元，行业排名第7，略低于行业平均5.71亿元，显著高于行业中位数1.42亿元，行业前两位分别为北方华创32.29亿元、中微公司27.97亿元。

华海清科股份有限公司近期专利情况如下：

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