PI推出新款真空兼容高负载六足位移台
创始人
2026-06-23 20:25:42
全球精密运动控制与纳米定位技术企业PI（Physik Instrumente）发布H-850.H2IV型真空适配六自由度位移台，专为高要求真空环境下的高精度对准与运动控制场景设计。
核心参数如下：
- 真空适配能力最高达10⁻⁶百帕
- 最大负载80公斤
- 重复定位精度±0.2微米
- 水平自锁持力200公斤，任意姿态自锁持力50公斤
该产品采用并联运动学架构，自带自锁驱动机构，配套PI自主研发的PIVirtualMove仿真软件，可解决真空场景下串联系统的线缆管理难题，断电后可固定负载位置，同时支持提前验证部署工况以降低系统集成风险，目标应用覆盖半导体制造、光刻、同步辐射光束线、航空航天测试等领域。
译文内容由第三方软件翻译。
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