6月13日消息，国家知识产权局信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司申请一项名为“涂胶杯及其多腔室光刻胶涂布设备”的专利。申请公布号为CN122183870A，申请号为CN202610617137.4，申请公布日期为2026年6月12日，申请日期为2026年5月7日，发明人齐鹏、于威达、邢栗，专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师吴浩、史永亮，分类号B05C5/00、B05C11/10、H10P72/00。

专利摘要显示，本申请涉及一种涂胶杯及其多腔室光刻胶涂布设备，涂胶杯包括外壳体、下壳体和导流罩，外壳体包括第一竖直筒形段和锥形段，第一竖直筒形段的直径大于待涂胶的晶圆的直径且第一竖直筒形段的内侧壁到晶圆的边缘的距离为2mm‑8mm，锥形段的侧壁与水平面形成大于等于41.75°且小于等于61.75°的夹角，导流板和锥形段之间形成锥形的第一导流腔，第一导流腔的夹角大于等于13.28°且小于等于23.28°，外壳体的顶部距离导流罩的顶部的距离大于等于23.5mm且小于等于30mm，锥形段的小端面高于导流罩的顶部。本申请能够解决相邻工艺单元造成的球状缺陷和自身结构导致的排气缺陷。

芯源微于2002年12月17日成立，2019年12月16日在上海证券交易所上市，注册地址与办公地址均位于辽宁省沈阳市。它是国内半导体专用设备领域的领先企业，专注于半导体专用设备研发、生产与销售，具备较强技术壁垒。

芯源微主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，所属申万行业为电子 - 半导体 - 半导体设备，涉及光刻机、专精特新、光刻胶等概念板块。

2025年，芯源微营业收入19.48亿元，在25家同行中排名第12，远低于第一名北方华创的393.53亿元和第二名中微公司的123.85亿元，高于行业中位数14.26亿元，但低于行业平均数41.44亿元。主营业务中，电子工艺装备营收18.79亿元，占比96.42%。净利润7068.2万元，行业排名18/25，与第一名北方华创的54.09亿元和第二名中微公司的20.64亿元差距较大，低于行业平均数6.09亿元和中位数1.77亿元。

沈阳芯源微电子设备股份有限公司近期专利情况如下：

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