博涛智能取得梯度喷淋板相关专利，复合气路与变径微孔提升沉积均匀稳定
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2026-05-08 11:38:30

5月8日消息，国家知识产权局信息显示，江苏博涛智能热工股份有限公司申请一项名为“梯度孔径喷淋板及气体扩散装置”的专利，授权公告号CN224186263U，授权公告日为2026年5月1日。申请号为CN202520924454.1，申请公布日期为2026年5月1日，申请日期为2025年5月12日，发明人朱佳豪、陶志波、崔恒飞，专利代理机构苏州三英知识产权代理有限公司，专利代理师朱如松，分类号C23C16/455、C23C16/46、C23C16/52。

专利摘要显示，本实用新型公开了一种梯度孔径喷淋板及气体扩散装置，其中喷淋板包括板主体以及形成于板主体并贯通的变径微孔阵列，所述变径微孔阵列的微孔沿第一贯通方向顺次地具有渐缩段、喉部及渐扩段，所述喉部为等内径的。本实用新型通过通过复合式气路拓扑设计，结合变径微孔对气流的层流化调控，显著提升沉积均匀性及工艺稳定性。

天眼查数据显示，江苏博涛智能热工股份有限公司成立日期2010年5月21日，法定代表人霍李均，所属行业为其他制造业，企业规模为中型，注册资本10613.7931万人民币，实缴资本10613.7931万人民币，注册地址为江苏省苏州市常熟市辛庄镇富丽路18号。江苏博涛智能热工股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目164次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息290条，拥有行政许可29个。

江苏博涛智能热工股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1用于连接热压炉和电源的连接装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610253998.92026-03-03CN121886055A2026-04-17乐伟、汪彭、廖春晓、翟国平
2PECVD设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512003105.32025-12-29CN121428510A2026-01-30归玉龙、霍李均、崔恒飞
3多片式薄膜沉积腔体自适应密封传输结构及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511978650.82025-12-25CN121380927A2026-01-23张小强、霍李均、崔恒飞
4ALD设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511933225.72025-12-19CN121496368A2026-02-10刘林、霍李均、陶志波、崔恒飞
5流化床反应器的底部机构发明专利实质审查的生效、公布CN202511829945.92025-12-05CN121466933A2026-02-06陈贞毅、霍李均、刘雨源
6PECVD下电极发明专利公布CN202511829944.42025-12-05CN121556006A2026-02-24朱儒东、霍李均、崔恒飞
7高温粉体切断阀发明专利实质审查的生效、公布CN202511820118.32025-12-04CN121452351A2026-02-03刘雨源、霍李均、陈贞毅、崔恒飞
8一种适应于多尺寸腔体的翻转系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511712970.92025-11-20CN121447576A2026-02-03朱儒东、霍李均、崔恒飞
9多片式镀膜装置和镀膜设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511584358.82025-10-31CN121407058A2026-01-27张小强、霍李均、崔恒飞
10PECVD用的面板定位机构发明专利公布CN202511519750.42025-10-23CN120989589A2025-11-21钱超、霍李均、崔恒飞
11MFC标定回路及使用方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511493342.62025-10-20CN121325820A2026-01-13霍李均、乔佳晓、陶志波、崔恒飞
12柔性显示面板、显示装置及制备方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511499331.92025-10-20CN121335388A2026-01-13霍李均、张敏、陶志波、崔恒飞
13APCVD中的喷头发明专利实质审查的生效、公布CN202511425638.42025-09-30CN121272380A2026-01-06霍李均、沈亚南、陶志波、崔恒飞
14双层置换室发明专利实质审查的生效、公布CN202511411889.72025-09-29CN121230458A2025-12-30钱钧达、张志敏、周芳
15PECVD抑制等离子体鞘层的传输结构发明专利实质审查的生效、公布CN202511411895.22025-09-29CN121260719A2026-01-02钱超、霍李均、崔恒飞
16一种OLED上PECVD使用的气体均匀扩散装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511401963.72025-09-28CN121204637A2025-12-26归玉龙、霍李均、崔恒飞
17一种开盖防呆机构发明专利实质审查的生效、公布CN202511391124.12025-09-26CN121084767A2025-12-09张小强、霍李均、崔恒飞
18定位校准装置发明专利公布CN202511363827.32025-09-23CN121020166A2025-11-28孙磊、霍李均、崔恒飞
19管道内壁清洁装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511208651.42025-08-27CN121131359A2025-12-16金磊、王海阳
20一种PECVD使用的视觉镜头调节机构发明专利公布CN202511102751.92025-08-07CN120666316A2025-09-19钱超、霍李均、崔恒飞
21匣钵自动化输送线设备外观专利授权CN202530404122.62025-07-10CN309800407S2026-02-17唐杰
22辊道炉发明专利实质审查的生效、公布CN202510853254.62025-06-24CN120403245A2025-08-01高远、姜春鹏
23工业冷却炉发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510750857.32025-06-06CN120252361B2025-08-05高远
24工业窑炉和工业窑炉的气体远程控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510721966.22025-05-30CN120444901A2025-08-08高远
25内衬结构及包含该内衬结构的回转炉实用新型授权CN202520935325.22025-05-13CN224162972U2026-04-24霍李均、金磊、成翀帆、周芳
26梯度孔径喷淋板及气体扩散装置实用新型授权CN202520924454.12025-05-12CN224186263U2026-05-01朱佳豪、陶志波、崔恒飞
27正极材料的二次烧结制备方法、材料、电极及电池发明专利公布CN202510516836.52025-04-23CN120364668A2025-07-25霍李均、吕张忠、姚文明
28用于电子设备的喂料机操作系统图形用户界面外观专利授权CN202530224680.42025-04-23CN309956492S2026-05-01专华武
29用于电子设备的窑炉操作系统图形用户界面外观专利授权CN202530224683.82025-04-23CN309956493S2026-05-01杨翊
30石墨匣钵实用新型授权CN202520721070.X2025-04-16CN224065934U2026-03-31高远
31掺杂混合装置实用新型授权CN202520601061.72025-04-01CN223959514U2026-03-03霍李均、吕张忠、姚文明
32砂磨装置实用新型授权CN202520601063.62025-04-01CN223996211U2026-03-17霍李均、吕张忠、姚文明
33箱式炉外观专利授权CN202530166450.72025-03-31CN309589572S2025-11-07高远
34晶圆传送装置及沉积装置实用新型授权CN202520571000.02025-03-28CN223991136U2026-03-13曲占刚、陶志波、崔恒飞
35ALD设备的气路管道及易维护气路管道的ALD设备实用新型授权CN202520521682.42025-03-24CN223983726U2026-03-10刘林、陶志波、崔恒飞
36一种使用高压蒸汽回路加热的回转炉发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510172600.42025-02-17CN119755964A2025-04-04金磊、成翀帆、高远、周芳
37一种均匀输送的锰酸锂材料送料装置实用新型授权CN202520085278.72025-01-15CN223774960U2026-01-09高远、王英英、张兵、毛羲佳、唐杰
38石墨烯固态润滑轴承的加工方法发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411593002.62024-11-08CN119353321A2025-01-24霍李均、朱威、吕张忠、姚文明
39辊道炉发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411495188.12024-10-24CN119164203A2024-12-20高远、姜春鹏、汤志豪
40辊道炉实用新型授权CN202422579652.72024-10-24CN223307279U2025-09-05高远、姜春鹏、汤志豪
41半导体沉积设备实用新型授权CN202422566292.72024-10-23CN223226169U2025-08-15归玉龙
42气体扩散板、组合体及装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411435556.32024-10-15CN118932316B2025-01-07霍李均、崔恒飞、翟国平、杨玉峰
43液相法碳化硅单晶炉实用新型授权CN202422446048.72024-10-10CN223189282U2025-08-05钱超
44柔性载台及承载装置实用新型授权CN202422433799.52024-10-09CN223230335U2025-08-15杨玉峰
45回转炉及其使用方法发明专利公布CN202411208685.92024-08-30CN121631768A2026-03-10高远、吕张忠、金磊、周芳
46一种置换室整体移动结构发明专利实质审查的生效、公布CN202411079313.02024-08-07CN118776307A2024-10-15张欣欣、钱钧达、周芳
47一种辊道窑炉冷却结构实用新型授权CN202421850826.22024-08-01CN222887503U2025-05-20李潇雨、吴苏
48喂料装置实用新型授权CN202421763570.12024-07-24CN223188247U2025-08-05施卫、朱丽叶
49垂直喂料装置实用新型授权CN202421763571.62024-07-24CN223188328U2025-08-05施卫、朱丽叶
50匣钵振动除磁装置实用新型授权CN202421652837.X2024-07-12CN223065944U2025-07-04葛程昊、徐桃

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