消息面上，1）半导体设备制造：行业订单与产能扩张加速。华峰测控2025年获得15亿元设备订单，STS8300测试机驱动2026年收入增长67%；中微公司刻蚀设备销售98.32亿元，12英寸高端设备已用于3纳米工艺；2025年全球半导体设备销售额达1351亿美元，中国大陆支出493亿美元居首。2）AI算力与先进制程：需求爆发推动技术升级。中芯国际2026年新增4万片12寸月产能，资本开支81亿美元；国产算力生态加速，昇腾950PR芯片推理速度提升35倍；国产AI模型周调用量12.96万亿Token全球领先。3）第三代半导体材料：碳化硅应用前景广阔。天岳先进碳化硅衬底营收占比83.37%，新能源与AI需求驱动2030年市场规模增至585亿元。4）数据中心与光芯片：高增长赛道持续突破。400G/800G光模块出货放量，液冷技术渗透率2025年提升至33%，液冷系统单GW价值量8.4亿美元。5）存储芯片：AI浪潮带动量价齐升。三星2026Q1营业利润同比增755%，HBM业务营收增长超300%。

券商研究方面，银河证券指出，科创半导体材料设备指数周收益率达2.58%，年内涨幅24.57%，成分股集中于科创板半导体上游材料与设备领域，设备与材料合计权重超50%，具备高弹性和硬科技属性，是国产替代关键环节。此外，银河证券在另一份报告中强调，半导体设备板块周涨幅达8.56%，头部企业业绩增长显著，行业高景气度延续，技术突破与产能扩张持续验证国产替代逻辑。

截至2026年5月6日 11:30，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨3.88%，成分股神工股份上涨14.56%，上海合晶上涨8.88%，欧莱新材上涨8.44%，拓荆科技，中芯国际等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨3.90%， 冲击3连涨。最新价报1.65元。

科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。

数据显示，截至2026年4月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、中微公司、华海清科、中科飞测、芯源微、沪硅产业、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比72.94%。