数据显示，3月31日，富国中证芯片产业ETF(516640)获净申购2867.38万元，位居当日股票ETF净流入排名73/1153。最新规模12.99亿元，前一日规模13.18亿元，当日资金净流入额占前一日规模的比例为2.18%。

近5日，富国中证芯片产业ETF(516640)获净申购950.57万元，位居股票ETF净流入排名第142/1153。近10日，富国中证芯片产业ETF(516640)获净申购2738.34万元，位居股票ETF净流入排名第156/1153。近20日，富国中证芯片产业ETF(516640)获净申购2355.19万元，位居股票ETF净流入排名第222/1153。

富国中证芯片产业ETF（516640）成立于2021年8月19日，基金全称为富国中证芯片产业交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为富国中证芯片产业ETF。该基金管理费率每年0.15%，托管费率每年0.05%。富国中证芯片产业ETF（516640）跟踪标的指数为芯片产业（H30007）。

规模方面，截止3月31日，富国中证芯片产业ETF（516640）最新份额为12.88亿份，最新规模为12.99亿元。回顾2025年12月31日，富国中证芯片产业ETF（516640）份额为13.14亿份，规模为13.94亿元。即该基金今年以来份额减少1.98%，规模减少6.80%。

流动性方面，截止3月31日，富国中证芯片产业ETF（516640）近20个交易日累计成交金额15.38亿元，日均成交金额7687.67万元；今年以来，56个交易日，累计成交金额53.17亿元，日均成交金额9494.8万元。

富国中证芯片产业ETF（516640）现任基金经理为张圣贤。张圣贤自2021年8月19日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益0.85%。

最新定期报告显示，富国基金（516640）重仓股包括寒武纪、中芯国际、海光信息、北方华创、兆易创新、澜起科技、中微公司、豪威集团、紫光国微、拓荆科技，持仓占比如下：

跟踪芯片产业（H30007）的ETF包括易方达中证芯片产业ETF（516350）、富国中证芯片产业ETF（516640）、芯片ETF基金（159599）、天弘中证芯片产业ETF（159310）、汇添富中证芯片产业ETF（516920）等，规模、流动性、近期资金净申购情况如下：

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