3月20日，芯碁微装涨5.1%，截至发稿，报177.16元/股，成交3.88亿元，换手率1.69%，总市值233.39亿元。

资料显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司位于安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼,香港铜锣湾希慎道33号利园1期19楼1915室，成立日期2015年6月30日，上市日期2021年4月1日，公司主营业务涉及主要从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务,主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备以及上述产品的售后维保服务,产品功能涵盖微米到纳米的多领域光刻环节。主营业务收入构成为：PCB系列76.69%，泛半导体系列16.58%，租赁及其他6.21%，其他(补充)0.52%。

从基金十大重仓股角度

数据显示，嘉实基金旗下1只基金重仓芯碁微装。嘉实上证科创板工业机械ETF（588850）四季度增持8276股，持有股数1.52万股，占基金净值比例为3.17%，位居第九大重仓股。根据测算，今日浮盈赚取约13.07万元。

嘉实上证科创板工业机械ETF（588850）成立日期2025年4月16日，最新规模6453.4万。今年以来收益3.61%，同类排名1773/5567；成立以来收益42.94%。

嘉实上证科创板工业机械ETF（588850）基金经理为田光远。

截至发稿，田光远累计任职时间5年13天，现任基金资产总规模791.33亿元，任职期间最佳基金回报168.19%， 任职期间最差基金回报-46.65%。

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