矽电半导体取得晶圆测试装置相关专利,载片机构双丝杆微动,提升传动机构寿命
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2026-03-01 09:17:50

3月1日消息,国家知识产权局信息显示,矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请一项名为“一种载片机构、晶圆测试装置及其控制方法”的专利,授权公告号CN120847444B,授权公告日为2026年2月27日。申请公布号为CN120847444A,申请号为CN202511350025.9,申请公布日期为2026年2月27日,申请日期为2025年9月22日,发明人吴贵阳,专利代理机构广州嘉权专利商标事务所有限公司,专利代理师张英凤,分类号G01R1/04、F16H37/12、H10P74/00、G01R31/28。

专利摘要显示,本发明涉及晶圆测试技术领域,公开了一种载片机构、晶圆测试装置及其控制方法。本发明的载片机构用于放置晶圆,包括:基座、滑动座、第一丝杆、第一驱动件、连接件、第二丝杆、第二驱动件、导向杆以及载片台。第一驱动件用于驱动第一丝杆转动,以使连接件以及第二丝杆相对第一丝杆升降,从而使滑动座以及载片台升降。第二驱动件用于驱动第二丝杆转动,以使第二丝杆相对连接件升降,从而使滑动座以及载片台升降。载片机构有两根丝杆都能够实现载片台的微动,且一根丝杆微动并不会对另一个丝杆产生磨损,当第一丝杆或者第二丝杆磨损之后,可以使用另一个丝杆继续驱动载片台微动,有效提升丝杆传动机构的整体使用寿命。

天眼查数据显示,矽电半导体设备(深圳)股份有限公司成立日期2003年12月25日,法定代表人何沁修,所属行业为专用设备制造业,企业规模为中型,注册资本4172.7274万人民币,实缴资本3129.5455万人民币,注册地址为深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区。矽电半导体设备(深圳)股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目84次,财产线索方面有商标信息46条,专利信息458条,拥有行政许可17个。

矽电半导体设备(深圳)股份有限公司近期专利情况如下:

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人
1芯片测试分选设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511712538.X2025-11-20CN121423250A2026-01-30车奎、沈杰、杨应俊、林毓涛
2传动平台发明专利实质审查的生效、公布CN202511568602.12025-10-30CN121199932A2025-12-26吴贵阳
3一种测试系统发明专利实质审查的生效、公布CN202511441132.22025-10-10CN121432111A2026-01-30李景均、陈志威
4晶圆测试针座、晶圆测试装置及针座控制方法发明专利授权CN202511350027.82025-09-22CN120847445B2026-01-16吴贵阳
5一种载片机构、晶圆测试装置及其控制方法发明专利授权CN202511350025.92025-09-22CN120847444B2026-02-27吴贵阳
6紧凑型芯片料盒识别装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511303144.92025-09-12CN121084940A2025-12-09刘伟豪、李景均
7仪表放大器的增益规整化配置电路及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511260343.62025-09-04CN121217068A2025-12-26罗国清、王业文、王胜利、刘兴波
8电气自锁电路及其驱动方法、装置、测试设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202511209148.02025-08-27CN121261693A2026-01-02陈朝巍
9双轴驱动平台发明专利实质审查的生效、公布CN202511104756.52025-08-07CN121163797A2025-12-19曾凡贵
10探针台及监测方法发明专利授权CN202510999199.12025-07-21CN120594897B2025-11-11吴贵阳
11探针台及测试系统发明专利授权CN202510999202.X2025-07-21CN120507548B2025-11-28吴贵阳、王胜利、李景均
12设备测量方法及装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510980144.62025-07-16CN120908640A2025-11-07吴贵阳、郑鹏、王鹏、胡翔
13芯片载具的上下料设备及芯片测试系统发明专利实质审查的生效、公布CN202510805178.12025-06-17CN120308607A2025-07-15李景均、马泳坤
14步进电机控制电路以及升降装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510557372.22025-04-29CN120474398A2025-08-12朱俊鹏、李龙
15多通道光源控制器校准方法、装置、设备及存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510478647.32025-04-16CN120264555A2025-07-04黄艺谦、王业文、李龙、黄伟强
16接线测试方法、测试系统及电子设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510476434.72025-04-16CN120385956A2025-07-29王业文、林创伟
17测试机外观专利授权CN202530206536.82025-04-16CN309682115S2025-12-19刘伟豪
18一种摆臂弹片调整方法及装置发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510451370.52025-04-11CN119972584B2025-07-01吴贵阳
19基于线性函数的摆臂弹片调节方法发明专利授权、实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510451374.32025-04-11CN119972585B2025-07-01吴贵阳
20一种双工位弹片调整装置实用新型授权CN202520680569.02025-04-11CN223935758U2026-02-24吴贵阳
21晶圆测试用探针针座外观专利授权CN202530117478.12025-03-12CN309594190S2025-11-11颜建武
22晶圆测试用探针针座外观专利授权CN202530117434.92025-03-12CN309594189S2025-11-11李景均
23晶圆测试用探针针座外观专利授权CN202530117420.72025-03-12CN309638270S2025-11-28颜建武
24一种多工位摆臂吸嘴机构测量和调整方法及装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510180974.02025-02-19CN119635725B2025-05-06吴贵阳、罗志长、周颖达
25探针台实用新型授权CN202520265133.52025-02-18CN223692421U2025-12-19林生财、聂勇
26载片装置实用新型授权CN202520241229.82025-02-14CN223693114U2025-12-19林生财
27晶圆承载装置及探针台实用新型授权CN202520090051.12025-01-14CN223829813U2026-01-23姜威、韦日文、林生财
28测试方法、装置、设备及计算机可读取存储介质发明专利实质审查的生效、公布CN202510032581.52025-01-09CN119986294A2025-05-13吴贵阳
29测试装置、测试设备以及测试方法发明专利授权、公布CN202510032586.82025-01-09CN119993853B2025-10-17吴贵阳、周颖达、李鑫洋、厉辉
30一种晶圆检测设备实用新型授权CN202520041100.22025-01-08CN223827717U2026-01-23曾凡贵、林生财、聂勇
31一种晶圆冷却装置实用新型授权CN202423231744.22024-12-26CN223693103U2025-12-19郑鹏、林生财、李长江
32一种探针清洁装置实用新型授权CN202423231689.72024-12-26CN223902429U2026-02-13林生财、周英才、李长江
33不良晶粒剔除设备实用新型授权CN202423161821.12024-12-19CN223683994U2025-12-19胡阳辉、易仲、李长江
34下料装置及测试分类一体机实用新型授权CN202423045282.52024-12-09CN223684028U2025-12-19胡耿涛、魏纯、钟夏华
35隔离变压模块的控制装置以及电控系统发明专利实质审查的生效、公布CN202411608883.42024-11-12CN119695772A2025-03-25罗国清、柯权珍、徐仲亮
36一种光源控制电路和光源控制系统实用新型授权CN202422609156.12024-10-28CN223452134U2025-10-17黄艺谦、李龙、卢健强
37探针固定结构及探针台实用新型授权CN202422577072.42024-10-24CN223449990U2025-10-17王伟谦
38一种晶圆片同心定位装置及定位方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411459894.02024-10-18CN119480742A2025-02-18钟夏华、郑鹏、魏纯
39半导体处理设备实用新型授权CN202422504795.12024-10-16CN223333753U2025-09-12胡耿涛、林生财
40半导体处理设备及半导体处理方法发明专利授权、公布CN202411446940.32024-10-16CN119208210B2025-10-17胡耿涛、林生财
41芯片分选方法及半导体加工设备发明专利授权、公布CN202411378468.42024-09-30CN118893021B2024-12-13詹文杰、刘子敏、杨应俊、龙武全、李屹、吴贵阳
42芯片分选方法及半导体加工设备发明专利授权、公布CN202411378467.X2024-09-30CN118893020B2024-12-13吴贵阳、詹文杰、刘子敏、杨应俊、龙武全、李屹
43分选设备发明专利授权、公布CN202411378469.92024-09-30CN118893022B2025-01-14车奎、沈杰、杨应俊、孟路路、林毓涛、张力力、王杰、李江峰
44转动装置及门体组件实用新型授权CN202422330515.X2024-09-24CN223202924U2025-08-08林生财、聂勇
45开盒装置及下沉式开盒系统实用新型授权CN202422329618.42024-09-24CN223333751U2025-09-12林生财、郑鹏
46一种吸嘴压力测试装置及方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411296055.12024-09-18CN118817288B2024-12-10吴贵阳
47一种半导体测试方法、电子设备、半导体检测系统及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202411288127.82024-09-14CN119044718A2024-11-29吴贵阳、刘兴波
48测试装置及抽测设备实用新型授权CN202422266647.02024-09-14CN223155159U2025-07-25沈杰
49抽测设备实用新型授权CN202422266994.32024-09-14CN223155980U2025-07-25沈杰
50分选机外观专利授权CN202430587508.02024-09-13CN309335889S2025-06-13张力力、杨应俊

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