A股申购 | 恒运昌(688785.SH)开启申购 在中国半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额第一
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2026-01-16 07:03:56

1月16日,恒运昌(688785.SH)开启申购,发行价格为92.18元/股,申购上限为0.40万股,市盈率48.39倍,属于上交所,中信证券为其保荐机构。

据招股书,公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商,主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务,并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件,围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。

等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一,技术壁垒高、研发投入大、研发周期长、生产的“精确复制”要求极高,因而国产化率极低。根据弗若斯特沙利文统计,2024年中国内地半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%,属于被“卡脖子”最严重的环节之一。公司聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关,历经十年,先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列,成功打破了美系两大巨头MKS和AE长达数十年在国内的垄断格局。公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程,第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程,达到国际先进水平,填补国内空白。与此同时,国内主要晶圆厂被美国商务部列入实体清单后,无法向原海外设备供应商采购备件或申请维修服务,公司为此承接了进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修的业务。

半导体设备及零部件行业具有“精确复制”的要求,以保障晶圆厂在产能快速扩张下的芯片品质,因此等离子体射频电源系统的量产必须确保高度稳定和可重复的生产工艺,并且需经过精密的校准和严格的测试流程,以保证性能的一致性和长期稳定性。在此严苛要求下,公司已具备成熟的规模化量产能力,公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商,并成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。截至2025年6月30日,公司与上述客户已实现百万级收入的自研产品共38款,实现千万级收入的自研产品共24款。

根据弗若斯特沙利文统计,2024年中国内地半导体行业等离子体射频电源系统的市场规模为65.6亿元。中国内地半导体行业等离子体射频电源系统的市场仍呈现海外巨头MKS和AE高度垄断的竞争格局。公司半导体级等离子体射频电源系统于2018年开始研发、2020年下半年开始批量交付,报告期内已实现大规模收入,产品性能获得市场认可。根据弗若斯特沙利文统计,2024年在中国内地半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中,恒运昌的市场份额位列第一,市场地位领先。

财务方面,于2022年、2023年、2024年及2025年1-6月,公司实现营业收入分别约为1.58亿元、3.25亿元、5.41亿元、3.04亿元人民币;同期净利润分别约为2618.79万元、7982.73万元、1.42亿元、6934.76万元人民币。

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