（来源：沈阳日报）

转自：沈阳日报

　　开栏语 创新驱动发展，沈阳动能澎湃。当“新质生产力”成为时代强音，一批活力四射、潜力巨大的独角兽企业、潜在独角兽企业、种子独角兽企业，正从沈阳丰沃的创新土壤中破土而出、加速奔跑。它们以颠覆性技术、爆发式增长，成为引领产业变革、塑造竞争新优势的先锋力量。即日起，本报推出“走进独角兽”专栏，深入科技前沿、解码核心技术，讲述创业故事、剖析成长基因，见证这些企业为沈阳建设国家中心城市、打造现代化产业体系注入强劲动能。

　　位于铁西区联东U谷的中科芯微智能装备（沈阳）有限公司是沈阳市一家潜在独角兽企业，记者来到大门处，企业负责人何海龙郑重地递上鞋套。“每位访客都必须经过无尘化处理。”他解释道。

　　洁净度是这家企业的生命线。在这样纤尘不染的空间里，一场为国产芯片制造“强筋健骨”的突围战正激烈上演。

　　归乡创业：

　　剑指关键核心技术领域

　　身为辽宁人的公司创始人朱玉东先生已在上海创业20余年，心中深埋着对家乡产业振兴的热望，5年前毅然决定回家乡投资创业。据何海龙回忆，朱玉东做这个决定时充分考虑到了家乡沈阳独特的优势，“依托沈阳深厚的工业底蕴与齐全的产业链配套，我们能迅速组建起精干团队。更重要的是，沈阳拥有众多高校，培养出的大量优质自动化、半导体领域相关人才，为企业提供了坚实后盾。”正是这份桑梓情怀与产业沃土的结合，催生了2020年落地沈阳经开区的中科芯微。

　　核心技术买不来，唯有自力更生。中科芯微锚定半导体前道工艺设备需求，全力攻坚大气与真空两大类洁净机械手核心技术。半导体洁净机械手——这个芯片生产线上的关键“搬运工”，承担着在无尘乃至真空环境中精准传送晶圆的重任。“机械手一旦出错，整条价值连城的芯片产线就可能瘫痪，客户损失巨大。”何海龙深知肩上重担，“国内生产线一度100%依赖进口，价格高企，话语权旁落。”彼时，国产机械手市场占有率微乎其微，近乎于无。打破这一垄断，不仅关乎企业生存，更关乎国家芯片产业链的安全与自主可控。

　　攻坚克难：

　　“把一天当三天用”

　　“芯片制造对洁净机械手重复定位精度要求严苛到极致，尘埃控制更是生死线。”何海龙带领团队对标国际顶尖水平，在轨迹规划与精准定位上“死磕”。研发过程如同攀登险峰，在一次竞标中，客户要求机械手每小时搬运500片晶圆。　　，无尘室里的“芯”突破）“当时我们只能做到450片，每提升一片都如同煎熬！”回忆至此，何海龙感慨万千。正是靠着这股“把一天当三天用”的拼劲，团队反复优化参数、调整路径，硬是将不可能变为可能，最终达标拿下订单，并实现对美国对标产品的超越。

　　“创业是需要时机的，我们恰逢国家全力发展半导体产业的黄金期。”何海龙满怀感恩，“是国家战略为国产设备争取了宝贵的上线验证机会。”中科芯微独创“两条腿走路”的验证模式——在客户产线实地测试与自身实验室模拟验证同步推进，双轨并行大幅压缩研发周期，以速度赢得信任。他们敏锐捕捉到客户痛点：进口设备开发周期长，定制响应慢。“我们用灵活高效的定制化能力来‘敲门’，受到客户的欢迎。”何海龙一语道破破局关键，“很多国内客户等不起国外漫长的开发周期。”

　　“中国人的拼搏精神，不吃不喝也要拿下客户的劲头也是世界第一。”何海龙对此深有感触。

　　扎根沈阳：

　　布局未来“芯”版图

　　从0到1的突破，中科芯微在国内洁净机械手市场撕开一道口子。实验室里设备昼夜不停跑机测试，办公室备用的折叠床见证着团队的拼搏。五年磨一剑，公司已自主研发超百款产品，成功在国内多家芯片大厂产线验证应用，成为国内极少数具备真空机械手全链条能力的企业。2024年，企业年产值达1.5亿元，国产洁净机械手市场份额也从无到有，提升至约6%，且份额持续增长。何海龙自豪地表示：“我们的特长是能够较快地根据半导体设备及芯片主机厂的要求去定制化机械手的功能，且交付能力强、交付周期短。”

　　展望未来，沈阳仍是中科芯微战略发展布局的核心。

　　何海龙描绘蓝图：企业正加速研发适配市场需求旺盛的12英寸芯片生产线的高端洁净机械手。今年年初，在铁西区委、区政府的支持下，购置了103亩的土地，用于建设半导体洁净机器人研发生产基地。依托沈阳雄厚的工业基础、人才储备和政策支持，中科芯微将在这里打造更强大的研发创新中心和智能制造基地。

　　“我们的目标从未改变——与国内伙伴携手并进，加速替代进口设备。”他语气铿锵，“最终为国产芯片产业链筑起坚实可靠的安全屏障。”这份“芯”动能的持续注入，将为沈阳乃至辽宁的高端装备制造和半导体产业升级，增添强劲动力。

　　沈阳日报、沈报全媒体记者 黄超